فلوئورسانس پراش اشعه ایکس XRF

طیف سنج فلوئورسانس اشعه ایکس X-Ray Fluorescence Spectroscopy از جمله تجهیزات آنالیز عنصری است که از آن به طور وسیعی در صنعت و مراکز پژوهشی استفاده می‌ شود. طیف سنجی فلورسانس اشعه ایکس XRF توانایی انجام آنالیز عنصری نمونه‌های معدنی مانند نمونه‌های زمین‌شناسی ، کانی‌ها ، سنگ‌ها ، شیشه ، سیمان ، سرامیک‌ها ، آلیاژهای فلزی و غیره را دارد. در اسپکتروسکوپی فلوئورسانس پرتو ایکس XRF از پرتو ایکس برای تجزیه لایه‌ های سطحی استفاده می ‌شود. در اثر تابش اشعه ایکس و برانگیختگی نمونه، انتقال الکترونی در لایه ‌های مختلف اتم انجام می ‌شود که هر انتقال الکترونی همراه با نشر یک خط طیفی اشعه ایکس است. طول موج خطوط طیفی نشر شده مبنای تجزیه کیفی عناصر و شدت پرتوها، متناسب با فراوانی یا کمیت عناصر موجود در نمونه است.
طیف سنجی فلورسانس اشعه ایکس XRF به دو نوع WDS و EDS تقسیم بندی می شود. پس از تابش پرتو ایکس به نمونه مجهول و در اثر برانگیختگی اتم‌ها پرتو ایکس ثانویه پدید می آیند که با تعیین طول موج ( روش WDS ) یا انرژی ( روش EDS ) آن ها ، می توان عنصر یا عناصر مورد نظر موجود در نمونه را شناسایی نمود.